中测光科低相干干涉仪(镜面定位/测厚仪)包含MS系列和JM系列两个产品线,采用低相干干涉测量原理,用于高精度测量光学镜头组中各镜片间的空气间隔和每一片镜片的中心厚度。可实现平片、球面镜、镜头组的间隔及厚度测量,并可根据用户需求灵活定制量程及工装夹具。
基于1310nm低相干光源的短相干长度特性,仪器能自动识别镜片多个表面各自的反射峰,独立给出每片镜片的厚度或空气间隔——避免了传统接触式测量的接触力误差和对光学表面的损伤风险,是光学系统在装配阶段检测和控制空气间隔的理想工具。
MS系列干涉仪技术参数
| 指标 | MS300 | MS600 | MS800 |
|---|---|---|---|
| 最大测量光程 | 300 mm | 600 mm | 800 mm |
| 测量精度 | ±1 μm | ||
| 重复精度 | 0.3 μm | ||
| 测量波段 | 1310 nm(近红外低相干光源) | ||
| 最高扫描速度 | 100mm / 5s | ||
| 最小工作距离 | 100 mm | ||
| 设备类型 | 台式设备(实验室用) | ||
JM 镜面定位仪技术参数
| 指标 | JM镜面定位仪 |
|---|---|
| 测量精度 | ±0.5 μm |
| 重复精度 | 0.25 μm |
| 光源波长 | 1310 nm(近红外低相干光源) |
| 测量速度 | 100mm / 3.75s |
| 激光等级 | Class 1(人眼安全) |
| 设备类型 | 台式设备(实验室用) |
| 测量范围 | 400mm/600mm/800mm,根据需求可定制 |
温度及气压传感器 | 选配(用于折射率补偿) |
| 光轴调整工具 | 标配(用于精确对中) |
软件界面实时显示干涉信号波形和各表面峰位,可一键导出测量数据报告。所有测量数据均经过空气折射率补偿(需选配温/气压传感器)以消除环境变化引入的测量误差。
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