2026年4月2日,华中科技大学与湖北九峰山实验室联合团队在高性能单片CMOS集成短波红外成像领域取得里程碑式突破,相关成果发表于国际顶级光学期刊《Matter&Light》。该研究创新性提出组分梯度驱动能带对准策略,成功解决传统短波红外探测技术成本高、集成复杂、稳定性不足等核心瓶颈,为自动驾驶、生物医学成像等领域提供低成本、可规模化的全新视觉方案。

一、技术痛点:传统短波红外探测的四大桎梏
短波红外(SWIR,波长13μm)成像作为机器视觉核心感知技术,广泛应用于自动驾驶、生物医学、工业检测等关键领域。然而,长期以来主流技术方案存在明显短板,制约产业普及:
团队针对硫系化合物的技术瓶颈,提出垂直方向Bi组分渐变的创新解决方案,实现性能与稳定性的双重突破。
二、核心突破:V型能带工程重构红外探测机制
研究团队首创一步气相沉积构建垂直Bi组分渐变的(Bi,Sb)₂Se₃合金技术,通过能带工程实现三大核心功能突破:
1.能带结构创新设计
Bi取代Sb实现带隙连续调控,从1.17eV收窄至0.8eV,响应截止波长拓展至1.5μm,大幅拓宽探测范围
构建本征V型能带结构,实现光吸收与载流子输运的高效协同
三重核心效应:抑制光生电子反向扩散与界面复合、加速电子输运提升收集效率、增强整流特性抑制暗电流
2.器件架构优化
采用nonp光电二极管架构,结构为ITO底电极/P型(Bi,Sb)₂Se₃吸收层/n型SnO₂电子传输层/ITO顶电极,适配CMOS工艺集成需求。
3.性能指标全面跃升
在1300nm波长下,关键性能参数达到国际领先水平:
响应度:518.2mA/W
外量子效率:47.8%
线性动态范围:102dB
响应时间:0.32μs/3.07μs(上升/下降)
三、集成创新:单片CMOS架构实现低成本规模化
研究团队突破传统异质集成瓶颈,实现低于150℃低温工艺下的单片集成,构建两大创新成像系统:
1.高性能短波红外焦平面阵列
直接将(Bi,Sb)₂Se₃二极管沉积于640×512像素商用CMOS读出电路,无需复杂混合键合工艺,大幅降低制造成本与集成难度。
2.双面光谱成像系统
基于透明氧化物TFT背板制备64×64像素双面照明阵列,利用V型能带的波长选择性特性,实现:
正面:全光谱成像
背面:可见光选择性成像
双面协同:光谱信息互补,提升目标识别精度
四、应用价值:多领域开启技术变革新篇章
该技术突破为短波红外成像的产业化落地提供关键支撑,核心应用场景包括:
1.自动驾驶领域
穿云透雾成像:穿透雾霾、雨雪等复杂气象条件,提升夜间/恶劣环境视觉感知能力
精准路况识别:区分干燥/积水/冰雪路面,增强行车安全冗余
成本优势:相比传统方案降低90%以上成本,加速车载系统普及
2.生物医学成像
深层组织观测:生物组织对短波红外光子散射/吸收显著降低,实现无标记深层成像
临床诊断革新:癌症研究、组织功能评估、无创检测等领域开辟新路径
3.工业与安防
工业检测:穿透高温烟气监控设备运行状态、半导体内部缺陷识别
安防监控:夜间/低照度环境下目标精准识别,提升安防系统全天候能力
五、未来展望:普适性路径引领红外技术革命
本研究不仅开发出(Bi,Sb)₂Se₃基高性能CMOS兼容短波红外成像系统,更构建了可拓展的能带工程方法,其价值体现在:
1.材料体系拓展:可推广至硫系、IVVI族等多类合金体系,为红外光电子器件设计提供普适性路径
2.产业生态重构:推动短波红外技术从高端专业领域向消费级市场渗透,赋能智能终端、物联网等万亿级产业
3.技术迭代加速:低温CMOS集成工艺降低生产门槛,助力产业链快速成熟,开启红外视觉普惠化新时代
华中科大与九峰山实验室的联合攻关,标志着我国在短波红外成像核心技术领域实现从跟跑到领跑的跨越,为全球光电子产业发展贡献中国智慧与中国方案。随着技术进一步成熟,低成本、高性能的短波红外成像设备将加速普及,深刻重塑智能感知产业格局。
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